가능한 한의 방법을 써서 순수하게 만든 불순물이 극히 적은 물. 수돗물 속의 불순물이 100ppm 정도인데 대해 초순수속의 불순물은 10ppb 이하이다.

먼저 여과에 의해 큰 입자의 불순물을 제거하고, 이온교환수지를 통해 이온화한 불순물을 제거하기도 하며, 반투막(半透膜)을 통해 불순물을 제거하는 등의 조작을 되풀이한다.

초순수는 텔레비전용 브라운관이나 반도체를 만드는 공장, 원자력발전소 등에서 쓰인다.