삼불화질소(NF3 : Nitron Fluorine Three)
2018-12-12
반도체나 LCD 제조공정에서 사용한 장비를 세척하는 용도의 무색이고 반응성 낮은 가스이다.
암모니아와 불화수소를 반응시켜 추출하는데 안정성이 뛰어나고 저장과 수송이 용이하다.
삼불화질소는 반도체 등 첨단기술의 발전에 따라 수요가 기하급수적으로 늘어난 화학 물질이다.
암모니아와 불화수소를 반응시켜 추출하는데 안정성이 뛰어나고 저장과 수송이 용이하다.
삼불화질소는 반도체 등 첨단기술의 발전에 따라 수요가 기하급수적으로 늘어난 화학 물질이다.
