나노 스케일의 정보를 검출할 수 있도록 구조를 생성하고 제어할 수 있는 기술을 말한다.
나노 센서 기술, MEMS 기술, 구조, 제어 기술 등은 기존의 센서 기술 등이 포함되며, 기존의 센서 기술에 나노 물질을 활용하여 성능을 높이거나 나노 전자 소자와 센서와 나노 물질을 결합하여 만든 새로운 개념의 기술이다.
나노 센서는 물리량 센서(무게, 압력, 경사 등), 열 센서, 광학 센서, 전자기 센서, 방사 센서, 생체 분자 센서, 기체/액체 센서 등으로 나눌 수 있고, 의료, 군사 및 국방, 산업 조정, 로봇 공학, 네트워크, 통신, 환경 모니터링 등 다양한 분야에 적용될 수 있다.
나노 센서의 분자나 원자 수준의 검출 능력으로 생물 의학 및 국토 안보 영역(군사 및 국방 생물 독소 및 방사성 물질의 존재를 탐지)에 매우 유용하며, 질병의 증상을 감지하는 데 효과적이다.
또한 개별 센서 비용의 급격한 감소를 가져올 것이므로 운송 관련 분야에서 널리 이용될 것이다.