[요약] 특성이 잘 알려져 있는 물질을 시료에 가하여 분석하고, 이것을 표준으로 하여 목적 물질의 분석 결과와 비교하여 정성 및 정량하는 방법이다. 특성이 잘 알려진 물질을 시료 속에 첨가하고 이를 표준으로 목적 물질을 정성(定性)·정량(定量)하는 분석법. 기기를 사용하는 정성 또는 정량 분석은 분석 결과를 표준 물질의 그것과 비교함으로써 가능하게 되는데, 이때 일정량의 표준 물질을 미리 알고 있는 원래의 시료에 첨가하고 분석 조작하여 동일한 실험 조건 하에서 양쪽의 정성 또는 정량적 신호를 얻어 이것을 비교, 분석한다. 이에 비해 시료와 표준 물질을 별도로 분석 조작하여 얻은 결과를 비교하는 방법을 외부표준법이라 한다. 내부표준법은 측정에 따른 바이어스 오차를 없애는 데 유리하여 X선·적외선·핵자기공명 등의 분광학이나 기체 크로마토그래픽 등에 이용된다.