펌프의 방식을 사용해 내부 공기를 빨아들여 외부로 배출해 진공상태로 만드는 기구를 의미한다. 진공펌프의 종류로는 회전 진공 펌프, 왕복 진공 펌프, 확산 진공 펌프 등이 있으며 각각의 특성에 따라 진공되는 정도가 다르다. 회전 진공 펌프는 내부에 있는 회전자가 회전하면서 외부에서 빨아들인 공기를 압축시키는 원리를 사용한다. 따라서 압축기의 원리와 비슷하다고 할 수 있다. 확산 진공 펌프는 일정 압력까지 펌프를 통해 공기를 내보낸 후 내부에서 기름을 가열시켜 기체분자를 들뜨게 한 후 이를 외부로 배출시키는 원리를 사용한다.