크라이오펌프(cryopump )
2010-08-24
진공 용기 속에 극저온냉각면(cryo panel)을 만들고 그 위에 기체를 응축시켜 용기 속의 압력을 감소하기 위한 펌프. 냉각면 재료로는 구리 · 알루미늄 · 스테인리스 등이 사용되는데, 몰큘러십 · 활성탄 등의 흡착물질과 게터재 등이 동시에 사용되는 경우도 있다.
냉각매체에는 액체헬륨 · 액체수소 또는 이들 저온기체가 사용된다.
15K 이하 온도의 냉각면을 사용해 10
torr(10
Pa)가 가능하다.
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