[요약] 세라믹스 등의 절연기판 위에 막 모양의 회로소자를 형성하여 초소형으로 구성한 전자회로를 말한다. 세라믹스 등의 절연기판 위에 막 모양의 회로소자를 형성하여 초소형으로 구성한 전자회로. 여기서 막은 기계가공으로 만들 수 없는 얇은 막을 총칭하며, 그 중에서 진공증착(眞空蒸着)·스퍼터링과 같이 진공 기술을 이용하여 형성하는 얇은 막을 박막, 또 스크린인쇄 기술을 응용하여 형성하는 약간 두꺼운 막을 후막이라 하여 구분한다. 막회로는 좁은 뜻으로는 트랜지스터·다이오드 등의 능동소자 및 저항·콘덴서 등의 수동소자의 모든 것을 막으로 형성한 것을 말하지만 막에 의한 능통소자가 실용단계에 달하지 못한 현재로서는 수동소자를 막으로 만들어 여기에 개별적인 능동소자나 막으로 하기는 어려운 수동 소자를 장치한 것까지를 말한다. 이런 경우에는 혼성집적회로와 같은 뜻이 된다. 박막 집적회로는 니크롬이나 질화탄탈 등의 금속박막에 의해 고정 밀도의 도체·저항·콘덴서 등의 회로소자가 만들어지는 한편, 포토에칭에 의해 미세한 회로 패턴이 형성 되므로 집적도를 높일 수 있는 특징이 있다.