구성 성분이 나타내는 물리적 성질을 측정하여 성분을 동정(同定) · 정량(定量)하는 화학 분석의 총칭. 전자공학의 성과가 여러 가지 분석 장치에 이용되면서 이용되기 시작한 용어. 그 범위는 일정치 않고 또 기기의 진보와 함께 점차적으로 변화할 것으로 보인다. 보통 기기분석 중에는 질량분석, X선 분석, 자외 · 적외분광분석 및 각종 분광분석, 방사능분석, 여러 가지 전기분석, 기체크로마토그래피 등이 있다. 분석 조작의 일부분 또는 대부분을 기기화함으로써 노력이나 개인 오차를 줄이고 정밀화 · 신속화가 가능하며 사람이 느낄 수 없는 종류의 특성이나 순간적 현상 또는 극미량 물질을 다룰 수도 있다. 여러 기기분석법의 공통점은 시료의 특성적인 양(농도, 광도, 방사능, 온도 등)을 적당한 변환기에 의해 전기적 양으로 바꾸고 증폭하여 검출하는 방식이다.