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작성일 2015-11-02
[요약] 진공장치 안에 남아있는 기체를 흡수하거나 그 기체와 화합물을 만드는 물질을 가리킨다. 진공장치 내의 잔류 기체를 수착(收着)하여 높은 진공을 만들 수 있는 재료. 고체상으로 수착하는 것을 접촉게터, 기체상으로 분산시켜 수착하는 것을 분산게터라고 한다. 쉽게 깨끗한 표면을 얻을 수 있는 것이 좋은 것이다. 거의 모든 금속은 양쪽 작용을 가지고 있으나 Th, V, Ti, Zr 등은 접촉게터, Ba, Mg, Ca 등은 분산게터의 작용이 주로 이용되어 증착 또는 스퍼터링하여 쓰인다. 접촉게터 작용은 방전 등에 의해 기체분자를 이온화 또는 들뜨게 하면 일반적으로 증대한다. 진공관 등 밀폐된 계의 진공도의 유지나 이온펌프 등에 이용된다.
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