반도체초미세공정 | 과학문화포털 사이언스올

반도체초미세공정

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반도체 나노미터 경쟁 속에서 핵심 기술을 책임지고 있는 곳이 있다. EUV 극자외선 노광 기술을 통해 초미세 공정을 가능하게 하는 기술을 연구하는 곳을 살펴본다.