국내 최초 EUV 마스크 성능을 검사하는 장비를 개발한 연구자가 있다. 전 세계 최고의 성능을 갖고 있고 최첨단 반도체 공정에 활용할 수 있는 장비인데, EUV 장비 개발 연구의 성과를 산업화로 연계하는데 큰 획을 그었다.

반도체 나노미터 경쟁 속에서 핵심 기술을 책임지고 있는 곳이 있다. EUV 극자외선 노광 기술을 통해 초미세 공정을 가능하게 하는 기술을 연구하는 곳을 살펴본다.

반도체 공정에서 나오는 유해가스가 진공펌프나 배관을 막는다. 그래서 막힌 배관 때문에 공정이 멈추는 경우도 잦고, 청소를 위해 배관을 열 때 화재가 생기는 일도 있었다고 한다. 그러나 송영훈 박사의 플라스마 기술로 더 이상 배관이 막히지 않는다. ======================================== ※ Full 영상 ▶ https://youtu.be/vtsxKFWlXiw ※ YTN사이언스 구독하기 ▶ https://bit.ly/3raTL0t ======================================== #플라스마 #반도체공정 #유해가스 #배관 #YTN사이언스 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스 [YTN 사이언스 기사원문] https://science.ytn.co.kr/hotclip/view.php?s_mcd=1394&key=202205161637291753 [프로그램 제작 문의] legbiz@ytn.co.kr

반도체 생산에 쓰이는 가스 배관 제조업체. 배관과 밸브 모두 그동안 해외 수입에 의존했는데 이 업체가 국산화에 성공했다고 한다. 그렇다면 이 밸브와 배관은 어떻게 만들어지는 것일까? ▶full영상: https://youtu.be/FkRQF70PzbE #반도체#가스배관#반도체공정#전자공학#과학기술 [YTN 사이언스 기사원문] https://science.ytn.co.kr/hotclip/view.php?s_mcd=1185&key=202108121343052440