노광기술
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[핫클립] 반도체 회로의 패턴을 구현하는 EUV 마스크
EUV는 EUV 현미경을 통해 인위적으로 만들어야 한다.
EUV 노광기술에서 가장 핵심적인 소재인
EUV 마스크는 반도체 회로 패턴의 설계도
역할을 하기 때문에 대한민국의 미래 경쟁력을
좌우할 최첨단 과학 기술의 핵심이다.
[핫클립] EUV 산업 생태계의 구심점이 되다 / YTN 사이언스
안진호 교수는 EUV 국산화를 위해 노력해왔고,
국내 EUV 연구자들은 어려움을 겪을 때마다 그를 찾아온다.
EUV 기술의 가치가 높아질수록 그의 책임도 높아진다.
EUV 분야에 최고를 입증하기 위해 노력하는
안진호 교수를 만나본다.
[핫클립] 반도체 초미세 공정을 가능하게 하는 EUV 기술
반도체 나노미터 경쟁 속에서
핵심 기술을 책임지고 있는 곳이 있다.
EUV 극자외선 노광 기술을 통해
초미세 공정을 가능하게 하는 기술을
연구하는 곳을 살펴본다.
