노광공정
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[핫클립] 반도체 생산 효율을 향상시키는 EUV 펠리클
안진호 교수는 치열한 EUV 기술 경쟁에서
살아남기 위해 또 다른 기술을 개발하고 있다.
노광 공정 중 발생할 수 있는 마스크 오염을
효율적으로 제거할 수 있는 EUV 펠리클을 개발하여
반도체 생산 효율을 향상시킨 것이다.
[핫클립] 반도체 초미세 공정을 가능하게 하는 EUV 기술
반도체 나노미터 경쟁 속에서
핵심 기술을 책임지고 있는 곳이 있다.
EUV 극자외선 노광 기술을 통해
초미세 공정을 가능하게 하는 기술을
연구하는 곳을 살펴본다.
