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확산펌프(diffusion pump)

작성일 2015-09-09

진공펌프의 하나로서 특히 고진공(高眞空)을 만드는 데 사용되는 장치. 일정한 방향으로 흐르는 증기, 즉 분류(噴流)를 만들고, 그것에 의해 주위의 기체분자를 함께 운반하는 작용을 이용한 진공펌프이다.

수은 · 양부틸프탈레이트와 같이 끓는점이 낮은 기름의 증기를 사용한다.

출구압력이 수은주 수mm에서 20mm 정도 되는 보조진공펌프로 이 증기를 뽑음으로써 10-8mmHg의 고진공을 얻을 수 있다.

진공관의 제작, 원자물리학 실험 등에 사용된다.

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