반도체 공정에서 나오는 유해가스가 진공펌프나 배관을 막는다.
그래서 막힌 배관 때문에 공정이 멈추는 경우도 잦고,
청소를 위해 배관을 열 때 화재가 생기는 일도 있었다고 한다.
그러나 송영훈 박사의 플라스마 기술로 더 이상 배관이 막히지 않는다.

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배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스
[YTN 사이언스 기사원문] https://science.ytn.co.kr/hotclip/view.php?s_mcd=1394&key=202205161637291753
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