EUV는 EUV 현미경을 통해 인위적으로 만들어야 한다.
EUV 노광기술에서 가장 핵심적인 소재인
EUV 마스크는 반도체 회로 패턴의 설계도
역할을 하기 때문에 대한민국의 미래 경쟁력을
좌우할 최첨단 과학 기술의 핵심이다.
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반도체 회로의 패턴을 구현하는 EUV 마스크 / YTN 사이언스
[YTN 사이언스 기사원문] https://science.ytn.co.kr/program/view_hotclip.php?mcd=1394&key=202301131504067439
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