[핫클립] 반도체 생산 효율을 향상시키는 EUV 펠리클

안진호 교수는 치열한 EUV 기술 경쟁에서
살아남기 위해 또 다른 기술을 개발하고 있다.
노광 공정 중 발생할 수 있는 마스크 오염을
효율적으로 제거할 수 있는 EUV 펠리클을 개발하여
반도체 생산 효율을 향상시킨 것이다.

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#EUV펠리클 #펠리클 #EUV기술 #반도체 #노광공정
반도체 생산 효율을 향상시키는 EUV 펠리클 / YTN 사이언스
[YTN 사이언스 기사원문] https://science.ytn.co.kr/program/vie…
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