Micro-Electro Mechanical Systems(마이크로 전자 기계 시스템)은 초소형 정밀기계 기술이다. MEMS는 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 크로마토 그래피 등의 동의어로 쓰이지만, 번역하면 마이크로 시스템 또는 초소형 기계를 의미한다. 현미경에 의존하지 않고 형태를 알 수 없는 작은 기계가 새로운 분야로 정착되었다. 즉, 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 아주 작은 운동이나 세밀한 작업을 시키려는 것으로, 21세기형 유망 산업으로 주목되며 교통, 의료, 정보 분야 등 다양한 분야에서 활용될 것이다.